Apa itu Filter ULPA? Apa Bedanya Dengan HEPA, dan Di Mana Letaknya Sebenarnya

Filter ULPA adalah filter Udara Penetrasi Ultra-Rendah yang diklasifikasikan dalam EN 1822 Grup U. Batasan kelasnya adalah:

•U15: efisiensi integral Lebih besar atau sama dengan 99,9995%

•U16: efisiensi integral Lebih besar atau sama dengan 99,99995%

•U17: efisiensi integral Lebih besar atau sama dengan 99,999995%

Itu adalah sisi klasifikasi formal. Di pasaran, Anda juga akan melihat produk ULPA yang digambarkan sebagai 99,9995% pada 0,1–0,2 μm atau sekitar 0,12 μm, terutama pada produk panel ruang bersih yang ditujukan untuk elektronik. Misalnya, produk ULPA rendah-boron untuk penggunaan semikonduktor diterbitkan pada 99,9995% @ 0,1–0,2 μm, dan banyak panduan perbandingan menggunakan 0,12 μm sebagai ukuran referensi praktis untuk diskusi ULPA.

Ketika pembeli bertanya tentang efisiensi filter U15, mereka biasanya menginginkan versi singkatnya:

•U15 adalah kelas masuk ULPA

•berdasarkan EN 1822, efisiensi integralnya mencapai 99,9995%.

•dalam literatur produk, sering kali dijelaskan kinerja sekitar 0,1–0,2 μm

• berada di atas H14 dalam hal efisiensi filtrasi dan biasanya di atas H14 dalam hal ketahanan awal dan juga biaya

Teknisi kami sering melihat pembeli mencampuradukkan tiga sistem berbeda:

•ISO 16890 / legacy EN 779 untuk filter ventilasi umum

•EN 1822 / ISO 29463 untuk EPA, HEPA, dan ULPA

•istilah lapangan seperti "HEPA medis" atau "ULPA ruang bersih"

Jangan bandingkan aFilter G4, MERV 8, atau ePM1ke apanel U15seolah-olah mereka termasuk dalam pohon keputusan yang sama. Mereka tidak melakukannya. ULPA termasuk dalam-sisi filter mutlak pasar

Kesenjangan efisiensi dasar mudah untuk dinyatakan. Bagian tersulitnya adalah menjelaskan dampak kesenjangan tersebut terhadap sistem.

Berdasarkan EN 1822:

H13:Lebih besar dari atau sama dengan 99,95%

H14:Lebih besar atau sama dengan 99,995%

U15:Lebih besar atau sama dengan 99,9995%

U16:Lebih besar dari atau sama dengan 99,99995%

U17:Lebih besar dari atau sama dengan 99,999995%

Itu berarti aFilter ULPA vs HEPAKeputusan ini bukan hanya soal "udara yang lebih bersih". Biasanya mempengaruhi:

Penurunan Tekanan Awal

pemilihan penggemar

FFU atau penggunaan energi modul terminal

ekonomi interval penggantian

kebocoran-ekspektasi tes dan kualifikasi

apakah proses tersebut benar-benar mendapat manfaat dari bagian efisiensi terakhir tersebut

Pengorbanan-ini sering kali ditunjukkan dengan jelas di lini produk ruang bersih semikonduktor. Panel mikroelektroniknya tersedia dalam ukuran H14 dan U15-U17, menekankan penurunan tekanan yang rendah, pelepasan gas yang sangat-rendah, dan kesesuaian untuk ruang bersih dan peralatan mikroelektronik. Hal ini dengan jelas menggambarkan bahwa begitu Anda memasuki bidang penyaringan udara semikonduktor, pembahasannya tidak lagi hanya tentang menghilangkan partikel, namun pertimbangan komprehensif mengenai pengendalian partikel, kebersihan tingkat molekul, dan konsumsi energi.

Cara-sederhana dalam bahasa Inggris untuk melihatnya

HEPA sering kali merupakan jawaban yang tepat ketika ruangan dibangun berdasarkan pengendalian infeksi, perlindungan produk, atau kebersihan tinggi tanpa sensitivitas partikel yang ekstrem.

ULPA adalah jawaban yang tepat ketika proses sensitif terhadap partikel yang lebih kecil, toleransi kerusakan yang lebih rendah, dan target ruang bersih yang lebih ketat.

Itulah sebabnya pernyataan umum seperti "ULPA lebih baik" tidak berguna. Di banyak proyek, ULPA lebih baik hanya jika prosesnya dapat membenarkan penurunan tekanan dan biaya tambahan.

Di sinilah logika aplikasi lebih penting daripada bahasa brosur.

Ruang operasi dan ruang perawatan kesehatan

ASHRAE 170 menetapkan garis dasar filtrasi untuk ruang operasi dengan minimum MERV 16, dan secara khusus memerlukan filter HEPA pada perangkat terminal udara dalam kasus ATAU khusus tertentu seperti prosedur ortopedi, transplantasi, bedah saraf, dan prosedur luka bakar khusus. Dengan kata lain, panduan layanan kesehatan tidak memperlakukan ULPA sebagai jawaban default untuk desain OR standar. Meskipun HEPA digunakan, tujuannya adalah-pengendalian risiko infeksi dan perlindungan aliran udara di bidang bedah, bukan perlindungan hasil tingkat-semikonduktor.

Jadi ketika pembeli mengatakan "ruang operasi menggunakan HEPA", itu umumnya merupakan arah yang benar. Target filtrasi layanan kesehatan memang tinggi, namun hal ini didorong oleh keselamatan pasien dan desain aliran udara prosedural, bukan oleh sensitivitas partikel dan molekuler dari proses wafer.

Pabrik semikonduktor dan elektronik canggih

Fasilitas semikonduktor adalah dunia yang berbeda. Panduan semikonduktor Camfil menyatakan bahwa pabrik menggunakan filtrasi lengkap dan larutan kontrol AMC-untuk menurunkan konsentrasi partikulat dan molekul ke level ISO Kelas 1 untuk partikel dan level sub-ppb untuk kontaminasi molekuler di udara. Panel ruang bersih-yang berfokus pada elektronik ditawarkan dalam HEPA H14 dan ULPA U15, U16, U17, khusus untuk industri mikroelektronik dan dengan-komponen pelepasan gas yang sangat rendah.

Itulah sebabnya produksi chip tingkat lanjut sering kali berpindah melampaui HEPA dan masuk ke ULPA, terutama di zona proses kritis, lingkungan-mini alat, area litografi, atau bagian lain dari pabrik tempat partikel yang lebih kecil dan kontaminasi molekuler secara langsung mempengaruhi hasil. Cara praktis untuk mengatakannya adalah ini:

rumah sakit melindungi pasien dan prosedurnya

pabrik chip melindungi hasil pada ambang cacat yang jauh lebih ketat

Kata yang sama: bersih. Ambang batas yang sangat berbeda.

Ini adalah salah satu detail yang dilewatkan oleh banyak-pembeli non-elektronik.

Di ruang bersih semikonduktor, filter tidak dapat diperlakukan sebagai kotak inert. Filter itu sendiri dapat menjadi sumber kontaminasi jika media atau komponen mengeluarkan gas dopan atau kontaminan molekuler yang tidak diinginkan.

Sebuah studi pada tahun 1991 tentang mikroelektronika silikon menemukan bahwa kontaminasi boron di udara dapat ditelusuri ke kaca borosilikat dalam filter udara partikulat efisiensi tinggi. Pelaporan industri selanjutnya mencatat bahwa pemasok media-serat kaca tradisional mengembangkan produk-boron rendah, dan media tersebut memperoleh penerimaan pasar sebagai respons terhadap persyaratan semikonduktor.

Latar belakang tersebut menjelaskan mengapa produk ULPA-kelas elektronik modern menekankan-boron rendah,-bebas dopan, atau-konstruksi pelepasan gas yang sangat rendah. Salah satu produk ULPA-boron rendah saat ini untuk aplikasi semikonduktor sub-14 nm menyatakan bahwa media serat-kaca-boron rendah mencegah kontaminasi boron yang ditularkan melalui filter, dan secara khusus memperingatkan bahwa boron dalam media ULPA standar dapat mengeluarkan gas dalam aliran udara dengan kemurnian tinggi dan menyebabkan doping tipe p yang tidak diinginkan. Camfil menyampaikan hal serupa dari sudut pandang lain dengan mempromosikan komponen pelepasan gas yang sangat rendah dan bebas dopan di panel ruang bersih mikroelektroniknya.

Jika proyek Anda ada di:

• fabrikasi wafer

•litografi

•pelapisan/paparan fotoresist

• kemasan canggih

•alat mikroelektronik atau-lingkungan mini

maka percakapannya harus lebih dari ituefisiensi ULPAdan termasuk:

•media-boron rendah

•dopan-konstruksi gratis

•pelepasan gas organik-rendah

•kompatibilitas dengan-strategi kontrol AMC

Untuk penyaringan udara semikonduktor, itu bukanlah barang mewah. Ini adalah bagian dari perlindungan proses.

Teknisi kami biasanya memulai dengan aplikasi, bukan kelas filter.

Kami mengajukan empat pertanyaan terlebih dahulu:

•Apa target kebersihan ruangan atau zona proses?

•Apakah proses tersebut terutama sensitif terhadap beban hayati, partikel, atau kontaminasi molekuler?

•Dapatkah sistem menyerap penurunan tekanan yang lebih tinggi yang biasanya terjadi dengan filter yang lebih ketat?

•Apakah proyeknya di bidang kesehatan/farmasi, atau di bidang mikroelektronik/semikonduktor?

Kami baru-baru ini membantu klien di Asia Tenggara yang awalnya meminta U15 di seluruh proyek karena tim mereka berasumsi "nilai yang lebih tinggi berarti lebih aman." Ternyata hanya area proses mikroelektronik kritis yang memerlukan ULPA. Area dukungan dapat tetap berada pada-penyaringan terminal tingkat HEPA. Perubahan tersebut mengurangi beban penggemar dan anggaran filter tanpa melemahkan kontrol risiko-proses yang sebenarnya.

Itu biasanya merupakan pendekatan yang tepat. Gunakan ULPA yang memecahkan masalah nyata. Jangan menyebarkannya kemana-mana kecuali prosesnya benar-benar membutuhkannya.

Sebelum Anda menyelesaikan spesifikasi, verifikasi poin-poin berikut:

Standar: EN 1822 / ISO 29463, bukan-standar ventilasi umum

Kelas: H13, H14, U15, U16, atau U17 berdasarkan kebutuhan proses

Dasar efisiensi: MPPS dan efisiensi integral yang dipublikasikan

Penurunan Tekanan Awal: disesuaikan dengan kipas, FFU, atau modul terminal

Aplikasi: pembedahan / perawatan kesehatan, farmasi, semikonduktor, atau lingkungan alat

Risiko media: media kaca standar,-media kaca boron rendah, atau-media membran bebas dopan

Konstruksi: komponen yang mengeluarkan gas{0}}rendah jika digunakan di lingkungan elektronik

Pengujian kebocoran: pemindaian satu per satu-diuji jika diperlukan oleh aplikasi